Electrostatic comb drive for resonant sensor and actuator applications /
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| 主要作者: | |
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| 格式: | Thesis 圖書 |
| 語言: | English |
| 出版: |
Barkeley :
University of California,
1990
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| 主題: | |
| 標簽: |
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| 實物描述: | xiii, 212 p. : ill. ; 18 cm. |
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| 參考書目: | References : p. 156-163 |