Rekabentuk dan fabrikasi diafram beralun silikon untuk sensor tekanan MEMs /
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | Malay |
| Published: |
Bangi :
Fakulti Kejuruteraan, Universiti Kebangsaan Malaysia,
2006
|
| Subjects: | |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Physical Description: | xxiii, 290 p. : ill. ; 30 cm. |
|---|---|
| Bibliography: | Rujukan : p. [236]-243 |