Rekabentuk dan fabrikasi diafram beralun silikon untuk sensor tekanan MEMs /
محفوظ في:
المؤلف الرئيسي: | Norhayati Soin |
---|---|
التنسيق: | أطروحة كتاب |
اللغة: | Malay |
منشور في: |
Bangi :
Fakulti Kejuruteraan, Universiti Kebangsaan Malaysia,
2006
|
الموضوعات: | |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
مواد مشابهة
-
Rekabentuk dan fabrikasi diafram beralun silikon untuk sensor tekanan MEMS /
بواسطة: Norhayati Soin
منشور في: (2006) -
Rekabentuk dan fabrikasi mikrofon kapasitif MEMS berdiafragma grafin-PMMA /
بواسطة: Haslinawati Mohd Mustapha -
Fabrikasi sensor tekanan kapasitif sangat rendah (STKSR) menggunakan teknologi proses piawai CMOS /
بواسطة: Muhammad Ramdzan Buyong
منشور في: (2010) -
Rekabentuk kapasitor boleh laras mems bagi julat 250 fF hingga 1110 fF untuk applikasi RF /
بواسطة: Hasnizah Aris
منشور في: (2006) -
Optimization of high linear MEMS pressure sensor for TPMS /
بواسطة: Mohd Azwan Ramlan
منشور في: (2016)