Rekabentuk dan fabrikasi diafram beralun silikon untuk sensor tekanan MEMs /
Saved in:
主要作者: | Norhayati Soin |
---|---|
格式: | Thesis 图书 |
语言: | Malay |
出版: |
Bangi :
Fakulti Kejuruteraan, Universiti Kebangsaan Malaysia,
2006
|
主题: | |
标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|
相似书籍
-
Rekabentuk dan fabrikasi diafram beralun silikon untuk sensor tekanan MEMS /
由: Norhayati Soin
出版: (2006) -
Rekabentuk dan fabrikasi mikrofon kapasitif MEMS berdiafragma grafin-PMMA /
由: Haslinawati Mohd Mustapha -
Fabrikasi sensor tekanan kapasitif sangat rendah (STKSR) menggunakan teknologi proses piawai CMOS /
由: Muhammad Ramdzan Buyong
出版: (2010) -
Rekabentuk kapasitor boleh laras mems bagi julat 250 fF hingga 1110 fF untuk applikasi RF /
由: Hasnizah Aris
出版: (2006) -
Optimization of high linear MEMS pressure sensor for TPMS /
由: Mohd Azwan Ramlan
出版: (2016)