Effect of focused ion beam machining parameters on geometrical accuracy of Bio-MEMS /

This thesis introduced focused ion beam (FIB) micromachining as a potential technique to fabricate Bio-MEMS microfluidic devices. This work investigated the influence of three FIB process parameters, which were acceleration voltage, dwell time and milled depth. The response variables were taper angl...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Nurul Hajar binti Mohd Fuad
التنسيق: أطروحة
اللغة:English
منشور في: Gombak, Selangor : Kulliyyah of Engineeering, International Islamic University Malaysia, 2011
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:Click here to view 1st 24 pages of the thesis. Members can view fulltext at the specified PCs in the library.
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة