Significance of post oxidation annealing (POA) and post metallization annealing (PMA) on the capacitance-voltage characterization of Si3N4 mos capacitor /
محفوظ في:
المؤلف الرئيسي: | Rosminazuin binti Ab. Rahim (مؤلف) |
---|---|
التنسيق: | أطروحة |
اللغة: | English |
الموضوعات: | |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
مواد مشابهة
-
Degradation and annealing of electrically-stressed thin oxide in MOS devices /
بواسطة: Ng, Wee Thong
منشور في: (1998) -
Electrical characterization of N[2]O annealed gate oxide /
بواسطة: Dai, Feng
منشور في: (1997) -
Laser annealing of donor implanted gallium arsenide /
بواسطة: Akintunde, J. A.
منشور في: (1981) -
A comparative study of MOS capacitors fabricated on single-crystal and polycrystalline silicon /
بواسطة: Tay, Tuang Mee
منشور في: (1990) -
Tunnelling phenomena in rapid thermal annealed silicon : silicon oxide systems /
بواسطة: Poon, Fook Weng
منشور في: (1997)