Measurement of dielectric constant of silicon wafer using microwave non-destrictive testing and direct current technique / Nadia Md Kamal

This paper presents comparison between measurement of dielectric constant of silicon wafer by using MNDT which is at high frequency and by using HIOKI 3532-50 LCR HiTESTER which at low frequency. Measurement of dielectric properties of silicon wafer at microwave frequencies is performed in free spac...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Md Kamal, Nadia
التنسيق: أطروحة
اللغة:English
منشور في: 2010
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:https://ir.uitm.edu.my/id/eprint/81107/1/81107.pdf
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!