Mask design, fabrication and test NMOS transistor
Dalam proses fabrikasi MOSFET, satu set topeng digunakan bagi tujuan menutup atau membuka sesuatu kawasan pada silicon wafer. Set top eng yang digunakan dalam fabrikasi piawai adaIah sangat tinggi kosnya dan tidak praktikaI untuk tujuan pendidikan. Satu set top eng yang ekonomik adalah penyele...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis |
| Language: | English English English |
| Published: |
2004
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://eprints.uthm.edu.my/7682/1/24p%20MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN.pdf http://eprints.uthm.edu.my/7682/2/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20COPYRIGHT%20DECLARATION.pdf http://eprints.uthm.edu.my/7682/3/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20WATERMARK.pdf |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Summary: | Dalam proses fabrikasi MOSFET, satu set topeng digunakan bagi tujuan
menutup atau membuka sesuatu kawasan pada silicon wafer. Set top eng yang
digunakan dalam fabrikasi piawai adaIah sangat tinggi kosnya dan tidak praktikaI
untuk tujuan pendidikan. Satu set top eng yang ekonomik adalah penyelesaiannya
dengan menggunakan filem transparency yang mempunyai panjang saluran daripada
250um bingga maksimum 20um telah dihasilkan. Sebanyak 4 empat top eng telah
direkabentuk dalam perisian AutoCAD 2002 drawing tools dan telah dicetak ke atas
filem transparency. Kaedah contact printing digunakan untuk memindahkan
bentangan topeng ke atas silicon waftr 4 inci menggunakan teknik standard
photolithography untuk memastikan keseragamanlapisan. Proses fabrikasi MOSFET
dilakukan selepas kesemua parameter dioptimumkan.Selepas MOSFET selesai
dihasilkan, probe station dan MOSFET characterization analyzer software
digunakan untuk menganalisa ciri-ciri MOSFET. Set topeng yang digunakan daIam
projek ini adalah praktikal untuk tujuan pendidikan dan MOSFET yang dihasilkan
juga berfungsi seperti yang dikehendaki. |
|---|