Mask design, fabrication and test NMOS transistor

Dalam proses fabrikasi MOSFET, satu set topeng digunakan bagi tujuan menutup atau membuka sesuatu kawasan pada silicon wafer. Set top eng yang digunakan dalam fabrikasi piawai adaIah sangat tinggi kosnya dan tidak praktikaI untuk tujuan pendidikan. Satu set top eng yang ekonomik adalah penyele...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Main Author:	Sahdan, Mohd Zainizan
Format:	Thesis
Language:	English English English
Published:	2004
Subjects:	TK Electrical engineering Electronics Nuclear engineering TK7800-8360 Electronics
Online Access:	http://eprints.uthm.edu.my/7682/1/24p%20MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN.pdf http://eprints.uthm.edu.my/7682/2/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20COPYRIGHT%20DECLARATION.pdf http://eprints.uthm.edu.my/7682/3/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20WATERMARK.pdf
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!

id	my-uthm-ep.7682
record_format	uketd_dc
spelling	my-uthm-ep.76822022-09-12T01:00:18Z Mask design, fabrication and test NMOS transistor 2004-10 Sahdan, Mohd Zainizan TK Electrical engineering. Electronics Nuclear engineering TK7800-8360 Electronics Dalam proses fabrikasi MOSFET, satu set topeng digunakan bagi tujuan menutup atau membuka sesuatu kawasan pada silicon wafer. Set top eng yang digunakan dalam fabrikasi piawai adaIah sangat tinggi kosnya dan tidak praktikaI untuk tujuan pendidikan. Satu set top eng yang ekonomik adalah penyelesaiannya dengan menggunakan filem transparency yang mempunyai panjang saluran daripada 250um bingga maksimum 20um telah dihasilkan. Sebanyak 4 empat top eng telah direkabentuk dalam perisian AutoCAD 2002 drawing tools dan telah dicetak ke atas filem transparency. Kaedah contact printing digunakan untuk memindahkan bentangan topeng ke atas silicon waftr 4 inci menggunakan teknik standard photolithography untuk memastikan keseragamanlapisan. Proses fabrikasi MOSFET dilakukan selepas kesemua parameter dioptimumkan.Selepas MOSFET selesai dihasilkan, probe station dan MOSFET characterization analyzer software digunakan untuk menganalisa ciri-ciri MOSFET. Set topeng yang digunakan daIam projek ini adalah praktikal untuk tujuan pendidikan dan MOSFET yang dihasilkan juga berfungsi seperti yang dikehendaki. 2004-10 Thesis http://eprints.uthm.edu.my/7682/ http://eprints.uthm.edu.my/7682/1/24p%20MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN.pdf text en public http://eprints.uthm.edu.my/7682/2/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20COPYRIGHT%20DECLARATION.pdf text en staffonly http://eprints.uthm.edu.my/7682/3/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20WATERMARK.pdf text en validuser mphil masters Kolej Universiti Teknologi Tun Hussein Onn Fakulti Kejuruteraan Elektrik dan Elektronik
institution	Universiti Tun Hussein Onn Malaysia
collection	UTHM Institutional Repository
language	English English English
topic	TK Electrical engineering Electronics Nuclear engineering TK7800-8360 Electronics
spellingShingle	TK Electrical engineering Electronics Nuclear engineering TK7800-8360 Electronics Sahdan, Mohd Zainizan Mask design, fabrication and test NMOS transistor
description	Dalam proses fabrikasi MOSFET, satu set topeng digunakan bagi tujuan menutup atau membuka sesuatu kawasan pada silicon wafer. Set top eng yang digunakan dalam fabrikasi piawai adaIah sangat tinggi kosnya dan tidak praktikaI untuk tujuan pendidikan. Satu set top eng yang ekonomik adalah penyelesaiannya dengan menggunakan filem transparency yang mempunyai panjang saluran daripada 250um bingga maksimum 20um telah dihasilkan. Sebanyak 4 empat top eng telah direkabentuk dalam perisian AutoCAD 2002 drawing tools dan telah dicetak ke atas filem transparency. Kaedah contact printing digunakan untuk memindahkan bentangan topeng ke atas silicon waftr 4 inci menggunakan teknik standard photolithography untuk memastikan keseragamanlapisan. Proses fabrikasi MOSFET dilakukan selepas kesemua parameter dioptimumkan.Selepas MOSFET selesai dihasilkan, probe station dan MOSFET characterization analyzer software digunakan untuk menganalisa ciri-ciri MOSFET. Set topeng yang digunakan daIam projek ini adalah praktikal untuk tujuan pendidikan dan MOSFET yang dihasilkan juga berfungsi seperti yang dikehendaki.
format	Thesis
qualification_name	Master of Philosophy (M.Phil.)
qualification_level	Master's degree
author	Sahdan, Mohd Zainizan
author_facet	Sahdan, Mohd Zainizan
author_sort	Sahdan, Mohd Zainizan
title	Mask design, fabrication and test NMOS transistor
title_short	Mask design, fabrication and test NMOS transistor
title_full	Mask design, fabrication and test NMOS transistor
title_fullStr	Mask design, fabrication and test NMOS transistor
title_full_unstemmed	Mask design, fabrication and test NMOS transistor
title_sort	mask design, fabrication and test nmos transistor
granting_institution	Kolej Universiti Teknologi Tun Hussein Onn
granting_department	Fakulti Kejuruteraan Elektrik dan Elektronik
publishDate	2004
url	http://eprints.uthm.edu.my/7682/1/24p%20MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN.pdf http://eprints.uthm.edu.my/7682/2/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20COPYRIGHT%20DECLARATION.pdf http://eprints.uthm.edu.my/7682/3/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20WATERMARK.pdf
_version_	1747831180481265664

Mask design, fabrication and test NMOS transistor

Similar Items