Mask design, fabrication and test NMOS transistor

Dalam proses fabrikasi MOSFET, satu set topeng digunakan bagi tujuan menutup atau membuka sesuatu kawasan pada silicon wafer. Set top eng yang digunakan dalam fabrikasi piawai adaIah sangat tinggi kosnya dan tidak praktikaI untuk tujuan pendidikan. Satu set top eng yang ekonomik adalah penyele...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Sahdan, Mohd Zainizan
Format: Thesis
Language:English
English
English
Published: 2004
Subjects:
Online Access:http://eprints.uthm.edu.my/7682/1/24p%20MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN.pdf
http://eprints.uthm.edu.my/7682/2/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20COPYRIGHT%20DECLARATION.pdf
http://eprints.uthm.edu.my/7682/3/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20WATERMARK.pdf
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
id my-uthm-ep.7682
record_format uketd_dc
spelling my-uthm-ep.76822022-09-12T01:00:18Z Mask design, fabrication and test NMOS transistor 2004-10 Sahdan, Mohd Zainizan TK Electrical engineering. Electronics Nuclear engineering TK7800-8360 Electronics Dalam proses fabrikasi MOSFET, satu set topeng digunakan bagi tujuan menutup atau membuka sesuatu kawasan pada silicon wafer. Set top eng yang digunakan dalam fabrikasi piawai adaIah sangat tinggi kosnya dan tidak praktikaI untuk tujuan pendidikan. Satu set top eng yang ekonomik adalah penyelesaiannya dengan menggunakan filem transparency yang mempunyai panjang saluran daripada 250um bingga maksimum 20um telah dihasilkan. Sebanyak 4 empat top eng telah direkabentuk dalam perisian AutoCAD 2002 drawing tools dan telah dicetak ke atas filem transparency. Kaedah contact printing digunakan untuk memindahkan bentangan topeng ke atas silicon waftr 4 inci menggunakan teknik standard photolithography untuk memastikan keseragamanlapisan. Proses fabrikasi MOSFET dilakukan selepas kesemua parameter dioptimumkan.Selepas MOSFET selesai dihasilkan, probe station dan MOSFET characterization analyzer software digunakan untuk menganalisa ciri-ciri MOSFET. Set topeng yang digunakan daIam projek ini adalah praktikal untuk tujuan pendidikan dan MOSFET yang dihasilkan juga berfungsi seperti yang dikehendaki. 2004-10 Thesis http://eprints.uthm.edu.my/7682/ http://eprints.uthm.edu.my/7682/1/24p%20MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN.pdf text en public http://eprints.uthm.edu.my/7682/2/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20COPYRIGHT%20DECLARATION.pdf text en staffonly http://eprints.uthm.edu.my/7682/3/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20WATERMARK.pdf text en validuser mphil masters Kolej Universiti Teknologi Tun Hussein Onn Fakulti Kejuruteraan Elektrik dan Elektronik
institution Universiti Tun Hussein Onn Malaysia
collection UTHM Institutional Repository
language English
English
English
topic TK Electrical engineering
Electronics Nuclear engineering
TK7800-8360 Electronics
spellingShingle TK Electrical engineering
Electronics Nuclear engineering
TK7800-8360 Electronics
Sahdan, Mohd Zainizan
Mask design, fabrication and test NMOS transistor
description Dalam proses fabrikasi MOSFET, satu set topeng digunakan bagi tujuan menutup atau membuka sesuatu kawasan pada silicon wafer. Set top eng yang digunakan dalam fabrikasi piawai adaIah sangat tinggi kosnya dan tidak praktikaI untuk tujuan pendidikan. Satu set top eng yang ekonomik adalah penyelesaiannya dengan menggunakan filem transparency yang mempunyai panjang saluran daripada 250um bingga maksimum 20um telah dihasilkan. Sebanyak 4 empat top eng telah direkabentuk dalam perisian AutoCAD 2002 drawing tools dan telah dicetak ke atas filem transparency. Kaedah contact printing digunakan untuk memindahkan bentangan topeng ke atas silicon waftr 4 inci menggunakan teknik standard photolithography untuk memastikan keseragamanlapisan. Proses fabrikasi MOSFET dilakukan selepas kesemua parameter dioptimumkan.Selepas MOSFET selesai dihasilkan, probe station dan MOSFET characterization analyzer software digunakan untuk menganalisa ciri-ciri MOSFET. Set topeng yang digunakan daIam projek ini adalah praktikal untuk tujuan pendidikan dan MOSFET yang dihasilkan juga berfungsi seperti yang dikehendaki.
format Thesis
qualification_name Master of Philosophy (M.Phil.)
qualification_level Master's degree
author Sahdan, Mohd Zainizan
author_facet Sahdan, Mohd Zainizan
author_sort Sahdan, Mohd Zainizan
title Mask design, fabrication and test NMOS transistor
title_short Mask design, fabrication and test NMOS transistor
title_full Mask design, fabrication and test NMOS transistor
title_fullStr Mask design, fabrication and test NMOS transistor
title_full_unstemmed Mask design, fabrication and test NMOS transistor
title_sort mask design, fabrication and test nmos transistor
granting_institution Kolej Universiti Teknologi Tun Hussein Onn
granting_department Fakulti Kejuruteraan Elektrik dan Elektronik
publishDate 2004
url http://eprints.uthm.edu.my/7682/1/24p%20MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN.pdf
http://eprints.uthm.edu.my/7682/2/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20COPYRIGHT%20DECLARATION.pdf
http://eprints.uthm.edu.my/7682/3/MOHD%20ZAINIZAN%20SAHDAN%20WATERMARK.pdf
_version_ 1747831180481265664