Design and control of an integrated bake/chill system for the microlithography process /

محفوظ في:

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Tham, Tze Minn
التنسيق:	أطروحة كتاب
اللغة:	English
منشور في:	2001.
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

الوصف
وصف مادي:	xiii, 80 leaves : ill. ; 30 cm.
بيبلوغرافيا:	Bibliography: leaves 44.

مواد مشابهة