Xu, X. (2002). Inductively coupled plasma etching of silicon.
توثيق أسلوب شيكاغو (الطبعة السابعة عشر)Xu, Xinhai. Inductively Coupled Plasma Etching of Silicon. 2002.
توثيق جمعية اللغة المعاصرة MLA (الطبعة الثامنة)Xu, Xinhai. Inductively Coupled Plasma Etching of Silicon. 2002.
تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.