Inductively coupled plasma etching of silicon /
محفوظ في:
المؤلف الرئيسي: | Xu, Xinhai |
---|---|
التنسيق: | أطروحة كتاب |
اللغة: | English |
منشور في: |
2002.
|
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
مواد مشابهة
-
Inductively Coupled Plasma Etching On Gan
بواسطة: Rosli, Siti Azlina
منشور في: (2010) -
Optimization of inductively coupled plasma dry etching for planar waveguide fabrication /
بواسطة: Lim, Weng Hong
منشور في: (2010) -
Inductively coupled plasma dry etching process on planar lightwave circuit fabrication /
بواسطة: Chuah, Khoon Seah
منشور في: (2010) -
Investigation of etching mechanism and hillock formation on silicon etched using tmah /
بواسطة: Luo, Ping
منشور في: (2001) -
Investigation of pyramid formation on Tmah etched silicon /
بواسطة: Bai, Yang
منشور في: (2000)