Rekabentuk dan fabrikasi diafram beralun silikon untuk sensor tekanan MEMS /
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| 主要作者: | |
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| 格式: | Thesis 图书 |
| 语言: | Malay |
| 出版: |
2006.
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| 实物描述: | xxiii, 290 leaves : ill. (some col.) ; 30 cm. |
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| 参考书目: | Bibliography: p. 236-243. |