Influence of RF power and hidrogen dilution on the optical and structural properties of hydrogenated silicon thin films deposited by RF plasma enhanced chemical vapour deposition /
محفوظ في:
المؤلف الرئيسي: | Shi, Chee Han |
---|---|
التنسيق: | أطروحة كتاب |
اللغة: | English |
منشور في: |
2008.
|
الموضوعات: | |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
مواد مشابهة
-
Physical properties of hydrogenated silicon (Si:H) thin films : the effect of RF power during deposition /
بواسطة: Ramlee Adnan
منشور في: (2008) -
Deposition of diamond and diamondlike carbon films using RF plasma /
بواسطة: Tan, Chian Hong
منشور في: (2004) -
Layer-by-layer plasma enhanced chemical vapour deposition of nanocrystalline silicon thin films /
بواسطة: Goh, Boon Tong
منشور في: (2012) -
Hybrid Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition/sputtering system for preparation of luminescent silicon carbon films /
بواسطة: Nur Maisarah Abdul Rashid
منشور في: (2013) -
The structure and optical characteristics of plasma enhanced chemical vapour deposited silicon oxide thin films /
بواسطة: Tan, Kim Hee
منشور في: (1997)