Semiconductor equipment jam rate improvement by using computational fluid dynamics /

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Chee, Wai Koon
Format: Thesis Book
Language:English
Published: 2010.
Subjects:
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
LEADER 01139cam a2200277 a 4500
001 u853732
003 SIRSI
005 201203271003
008 120327s2010 my a t 000 0 eng m
040 |a UMM  |d UMJ 
090 |a TS176  |b UM 2010 Che 
097 |a TS176  |b UM 2010 Che 
100 1 |a Chee, Wai Koon. 
245 1 0 |a Semiconductor equipment jam rate improvement by using computational fluid dynamics /  |c Chee Wai Koon. 
260 |c 2010. 
300 |a ix, 83 leaves :  |b ill. ;  |c 30 cm. 
502 |a Dissertation (M.Eng. (Manuf.)) -- Jabatan Kejuruteraan Rekabentuk dan Pembuatan, Fakulti Kejuruteraan, Universiti Malaya, 2010. 
504 |a Bibliography: leaves 81-83. 
650 0 |a Semiconductors  |x Design and construction. 
650 0 |a Fluid dynamics. 
710 2 |a Universiti Malaya.  |b Jabatan Kejuruteraan Rekabentuk dan Pembuatan. 
900 |a AT 
902 |a 090-1 copy in process. 
596 |a 1 7 
999 |a TS176 UM 2010 CHE  |w LC  |c 1  |i A514901754  |d 12/12/2012  |f 12/12/2012  |g 1  |l STACKS  |m P07JURUTER  |r Y  |s Y  |t TESIS  |u 5/12/2012 
999 |a TS176 UM 2010 CHE  |w LC  |c 1  |i A513412556  |d 6/1/2014  |f 6/1/2014  |g 1  |l STACKS  |m P01UTAMA  |r Y  |s Y  |t TESIS  |u 6/1/2014