Design and analysis of MEMS capacitive accelerometer with optimized sensitivity /
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| 主要作者: | |
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| 格式: | Thesis 圖書 |
| 語言: | English |
| 出版: |
2013.
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| 主題: | |
| 標簽: |
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| 實物描述: | xii, 76 leaves : illustrations ; 30 cm. |
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| 參考書目: | Bibliography: leaves 69-72. |