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    PZT driven silicon XY microstage for multiprobe data storage /
    由 Mohd Faizul Mohd Sabri
    出版 2009
    主题: “...Microactuators Materials....”
    Thesis 图书
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    Development of shape memory alloy actuated parallel manipulator /
    由 Khidir, Elwaleed Awad
    出版 2007
    主题: “...Microactuators...”
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