Fabrication And Characterization Of O.5-Um Mosfet Bulk Silicon Technology On Thick Bonded Silicon-On-Insulator Substrate
The effect of thick film Silicon-On-Insulator (SOl) substrate on device fabrication and performance is studied. Enhancement-type Partially-Depleted SOl MOS device is fabricated on bonded SOl (BSOI) substrate based on bulk silicon MIMOS 0.5 um CMOS technology with full compatibility maintained. Th...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| التنسيق: | أطروحة |
| اللغة: | English English |
| منشور في: |
2003
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://psasir.upm.edu.my/id/eprint/12153/1/FK_2003_12.pdf |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|