Fabrication And Characterization Of O.5-Um Mosfet Bulk Silicon Technology On Thick Bonded Silicon-On-Insulator Substrate

The effect of thick film Silicon-On-Insulator (SOl) substrate on device fabrication and performance is studied. Enhancement-type Partially-Depleted SOl MOS device is fabricated on bonded SOl (BSOI) substrate based on bulk silicon MIMOS 0.5 um CMOS technology with full compatibility maintained. Th...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Abdullah, Wan Fazlida Hanim
التنسيق: أطروحة
اللغة:English
English
منشور في: 2003
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://psasir.upm.edu.my/id/eprint/12153/1/FK_2003_12.pdf
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة