A Study On Process-Generated Crystal Defects And Corresponding Leakage Current Of P-N Junctions In Bipolar Transistors

An investigation into excess reverse leakage current of p-n junction process control structures in an industrial bipolar junction transistor technology is detailed in this work. Excess leakage is shown to be caused by rod-like crystal defects generated from a boron implantation process. The ro...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Cheah , Chun Yee
التنسيق: أطروحة
اللغة:English
منشور في: 2010
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://eprints.usm.my/42912/1/Cheah_Chun_Yee24.pdf
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!